臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)是集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品，借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題，獲得樣品的元素組分信息往往也是必要的，借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測器，電鏡能譜一體機(jī)可以完善解決上述所有問題。一體機(jī)是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生X射線的分析儀器，能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設(shè)計(jì)在電鏡能譜一體機(jī)系統(tǒng)中。
軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃功能，分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)，結(jié)合了表面成像功能和元素分析能譜功能，可以準(zhǔn)確的進(jìn)行樣品表面元素的定性和定量分析，集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析于一體。
飛納臺(tái)式場發(fā)射電鏡操作簡單，效率高，無需防震臺(tái)和磁屏蔽，無樓層要求，只需要一張承重200kg的桌子，采用穩(wěn)定堅(jiān)固的超薄窗口，透過率在0.26-0.6 KeV低能量范圍，是聚合物窗口的2-3倍，適合輕元素檢測和低電壓能譜分析，全能量范圍平均透過率比聚合物窗口高35%，進(jìn)一步提高了能譜儀的X射線計(jì)數(shù)率。
臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)特點(diǎn)：
1、高分辨臺(tái)式場發(fā)射電鏡；
2、內(nèi)置真空鎖，15s抽真空，實(shí)時(shí)導(dǎo)航，全面跟蹤樣品；
3、使用方便的場發(fā)射電鏡，30分鐘培訓(xùn)即可上手，無需噴金直接觀察不導(dǎo)電樣品。
